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CE-600、800自動(dòng)清洗機(jī)是專(zhuān)門(mén)用于晶圓、QFN、玻璃、基板、手機(jī)模組和陶瓷等切割后的清洗設(shè)備。此系列為二流體清洗方案，采用可編輯控制器＋全彩色觸摸屏為操作系統(tǒng)，令設(shè)備性能更加穩(wěn)定、操作便捷。采用特殊內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能均勻混合，產(chǎn)生細(xì)微液滴尺寸的噴霧或粗液滴噴霧。通常通過(guò)增加氣壓或降低液體壓力可得到更加細(xì)微的液滴。從而導(dǎo)致交到的氣體流率和液體流率比，形成較大沖擊波，有效對(duì)切割道內(nèi)的細(xì)微粉塵進(jìn)行*

CE-600、800自動(dòng)清洗機(jī)是專(zhuān)門(mén)用于晶圓、QFN、玻璃、基板、手機(jī)模組和陶瓷等切割后的清洗設(shè)備。此系列為二流體清洗方案，采用可編輯控制器＋全彩色觸摸屏為操作系統(tǒng)，令設(shè)備性能更加穩(wěn)定、操作便捷。采用特殊內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能均勻混合，產(chǎn)生細(xì)微液滴尺寸的噴霧或粗液滴噴霧。通常通過(guò)增加氣壓或降低液體壓力可得到更加細(xì)微的液滴。從而導(dǎo)致交到的氣體流率和液體流率比，形成較大沖擊波，有效對(duì)切割道內(nèi)的細(xì)微粉塵進(jìn)行*

VTC-200-CE半柜式清洗機(jī)采用直線導(dǎo)軌控制柱狀液流沿 wafer.半徑方向來(lái)回掃動(dòng),同時(shí)配備有去離子水淸洗和氮?dú)獯蹈晒δ?采用高精度伺服電機(jī)控制 wafer的旋轉(zhuǎn),由七寸全彩觸屏進(jìn)行操作，全不銹鋼機(jī)柜,耐腐蝕透明觀察蓋,絲桿直線導(dǎo)軌,不銹鋼內(nèi)腔,設(shè)計(jì)合理,經(jīng)久耐用。伺服馬達(dá)控制旋轉(zhuǎn)速度和時(shí)間,自動(dòng)控制顯影、清洗和吹干,顯影/清洗均勻性和重復(fù)性好。

PCE-22紫外臭氧清洗機(jī)是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤(rùn)濕性，清洗SEM &TEM，紫外對(duì)聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一種無(wú)酸、干燥對(duì)材料無(wú)損傷的原子級(jí)別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光：185nm和254nm。

PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。PCE-6小型等離子清洗機(jī)體積小，占用的空間少，

VGT-1620QTD超聲波清洗機(jī)是一款利用超聲波高頻率振動(dòng)對(duì)物品進(jìn)行清洗的原理，主要用于清洗眼鏡、珠寶首飾、鐘表等，并可在機(jī)械、紡織、電子、化纖、石油化工、醫(yī)藥、大專(zhuān)院校、科研實(shí)驗(yàn)室、超硬材料及軍工等行業(yè)中應(yīng)用，可以清理一般清洗工具達(dá)不到的地方，實(shí)現(xiàn)無(wú)損傷清洗。VGT-1620QTD超聲波清洗機(jī)可以對(duì)清洗時(shí)間進(jìn)行設(shè)定，時(shí)間到設(shè)備自動(dòng)停止；也可以對(duì)被清洗物品進(jìn)行加熱，加熱溫度不超過(guò)80℃，用于清洗