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2單靶直流磁控濺射儀
簡要描述:

VTC-16-SM是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀,包含一個(gè)2英寸水冷靶頭和可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),外形小巧,性價(jià)比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空泵。

  • 產(chǎn)品型號(hào):VTC-16-SM
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-08-17
  • 訪  問  量:4459

詳細(xì)介紹

    VTC-16-SM是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀,包含一個(gè)2英寸水冷靶頭和可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),外形小巧,性價(jià)比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空泵。

    用直流磁控濺射儀可獲得單相Al膜

    技術(shù)參數(shù)

   輸入電壓 AC 208V ~ 240V, 50/60 Hz
   輸入功率 < 2000W 
   輸出功率 電壓:1600VDC;大電流:150mA 
   腔體 石英腔體:167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height
  2英寸帶水冷磁控濺射頭
   濺射頭和樣品臺(tái) 一個(gè)直徑50mm不銹鋼樣品臺(tái),樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)速率0 - 5 RPM 
  配有一手動(dòng)操作的擋板,包含靶頭支撐架
  樣品臺(tái)和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍:60-100mm
   控制面板 6" PLC集成觸摸屏控制面板,可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度
  雙極旋片真空泵VRD-8,KF25接口
   附件(可選) KF25不銹鋼波紋管
  10L/min 循環(huán)水冷機(jī)冷卻磁控靶頭  
   氣氛 含一個(gè)控制進(jìn)氣的針閥和一個(gè)放氣閥
  靶材尺寸: 50 mm dia. x 0.50 -2 mm
   靶材 適合濺射Au,Ag,Cu,Al,Cr,Ti,Sn,Ni等金屬,可選購
   可選配件 膜厚監(jiān)測(cè)儀
分子泵,可獲得高真空, >10E-5 torr
為獲得好的薄膜強(qiáng)度,建議鍍膜前用等離子清洗機(jī)對(duì)基片進(jìn)行清洗。
500度樣品加熱臺(tái)         
   體積   ( L 440mm×W 330mm × H 290mm 
   凈重 20 kg ( not included pump )
   質(zhì)保和證書 一年質(zhì)保,終生維護(hù)
CE認(rèn)證
   磁控濺射鍍膜知識(shí) 與客戶分享新的磁控濺射鍍膜技術(shù),請(qǐng)點(diǎn)擊文章鏈接- Plasma Sputter Coating.  

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