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近距離蒸發(fā)鍍膜 （ CSS）爐
簡(jiǎn)要描述：

OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發(fā)管式爐，專門針對(duì)于用PVD或CSS法來(lái)制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11“ OD，爐管內(nèi)載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達(dá)20?C/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1?C。儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內(nèi)配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導(dǎo)出

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2024-08-17
  • 訪  問  量：3778

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

 

真空腔體
  • 腔體為一高純石英管
  • 尺寸：  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

 

真空法蘭
  • 真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作
  • 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口
  • 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口
  • 法蘭是通過兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-2 torr，用分子泵其真空度可達(dá)到10-5 torr
  • 兩個(gè)法蘭都可以通過手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng)
  • 一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部，可精確測(cè)量腔體內(nèi)真空度

 

                         

 

混氣系統(tǒng)

 

可以選擇兩路的混氣系統(tǒng)于此款管式爐搭配使用（本公司生產(chǎn)多路浮子和多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)）
                     

 

 

 

 

加熱元件和載樣臺(tái)
  • 由兩組IR紅外燈管進(jìn)行加熱
  • 額定功率800 W     總功率：1600W 
  • 為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上
  • 一個(gè)3"的基片載樣臺(tái)安裝腔體頂部
  • 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其儀器使用時(shí)樣品基片上的溫度更加均勻
  • 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來(lái)盛裝蒸發(fā)料 

       

 


熱電偶

 

 

 

 

 

 

 

兩個(gè)K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

 

溫控系統(tǒng)
  • 兩個(gè)控溫系統(tǒng)都為PID30段程序化控溫
  • 可以選購(gòu)PC控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中

                       

 

工作溫度
  • 兩個(gè)加熱區(qū)域單獨(dú)工作的高溫度：      <= 650ºC
  • 兩個(gè)加熱區(qū)域大溫差:  <= 350 ºC

 

加熱和冷卻速率
  • 加熱速率:   > 8 ºC /S
  • 冷卻速率:   > 10  ºC /S  ( 600 - 100oC)

 

電源

 

208 - 240VAC, 單相, （需20A的空氣開關(guān)）

 

可選配件

 

 

 

 

本公司出售真空泵和水冷系統(tǒng)

 

 

 

 

                   

 

 

質(zhì)保期       

 

 

一年質(zhì)保期  (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 )
質(zhì)量認(rèn)證

 

  CE 

 

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