噴膠機(jī)適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品型號：SP200
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-08-19
訪問量：1954

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

相關(guān)文章ARTICLES

查看全部

詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	化工
控溫范圍	50-150℃	溫度均勻性	±1%
光刻膠流量	0.4-20ml/min	加熱平臺轉(zhuǎn)速	1-30rpm
噴嘴水平移動速度	≤200mm/s	噴嘴水平行程	≤300mm
光刻膠霧化直徑	30-50μm	設(shè)備尺寸	1000mm(W)1000mm(D)1800mm(H)

噴膠機(jī)

適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品參數(shù)

控溫范圍：50-150℃
溫度均勻性:±1%
3光刻膠流量:0.4-20ml/min
加熱平臺轉(zhuǎn)速:1-30rpm
噴嘴水平移動速度:≤200mm/s
噴嘴水平行程:≤300mm
光刻膠霧化直徑:30-50μm
設(shè)備尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說明：
驗證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

精品无人区一区二区三区,日韩有码a久久久久,久久精品久久久久久国产,亚洲AV区无码字幕中文色

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗證碼：