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勻烤膠一體機(jī)
簡要描述:

勻烤膠一體機(jī)
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動(dòng)供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機(jī)交互界面,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標(biāo)
可選配置空氣凈化單元(FFU)

  • 產(chǎn)品型號:SH200
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-08-19
  • 訪  問  量:1921

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工
旋轉(zhuǎn)速度范圍 20-5000rpm(可選最大10000rpm加速度范圍20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度±1rpm光刻膠嘴數(shù)量≤4路
勻膠工藝配方≤ 100組(每組≤ 100步)熱板參數(shù)控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設(shè)備尺寸1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)

勻烤膠一體機(jī)

產(chǎn)品介紹

適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動(dòng)供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機(jī)交互界面,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標(biāo)
可選配置空氣凈化單元(FFU)

產(chǎn)品參數(shù)

旋轉(zhuǎn)速度范圍: 20-5000rpm(可選最大10000rpm)
加速度范圍: 20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
(光刻膠嘴數(shù)量:≤4路
勻膠工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數(shù):控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)

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