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真空旋轉涂膜機
簡要描述:

VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

  • 產(chǎn)品型號:VTC-100PA
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-08-19
  • 訪  問  量:1652

詳細介紹

品牌其他品牌應用領域環(huán)保,化工,電子
程序運行可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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I

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2涂布

   

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真空旋轉涂布機

                        

VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

 

 

 

主要特點

•真空吸附方式固定樣件,操作簡便。

•使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。

•根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。

•設有12組程序,每組包含6個運行階段。

•電機啟動快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

•50W/24V 直流電機

•適于在Ar氣環(huán)境中工作(真空泵放置在手套箱外)

 

數(shù)

•電機功率:50W/24V

•速度范圍:500-10000rpm

•程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段

•增減速率設置:100rpm/s-2000rpm/s

•時間范圍:0-60s

•吸盤:Φ19mm、Φ60mm

進氣口:

上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉涂覆

 

可選加熱部分

上蓋內部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數(shù)字溫控器控溫,最高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。

 

產(chǎn)品尺寸:450mm×280mm×340mm;

 

重量20kg

 

可選配件:過濾器(真空泵用)

 

保修期:一年保修,終身技術支持。

 

標準配件

1   真空吸盤(含O型圈)     2個

2 中心定位器(含4個定位柱) 1個

3 滴膠注射器(20ml)          1個

4 注射器支架                 1個

5 AP-1400V無油真空泵         1臺

6 橡膠管(含卡箍)         1根


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