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產(chǎn)品型號：PCE-6廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2024-10-24訪 問 量：2184詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 儀器種類 | 通用型 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
| 產(chǎn)品名稱 | PCE-6小型等離子清洗機 | |
| 產(chǎn)品型號 | PCE-6 | |
| 主要參數(shù) | 1、電源：AC220V 50/60Hz | |
| 2、輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W | ||
| 3、真空泵功率：<500W | ||
| 4、總功率：<600W | ||
| 5、射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié) | ||
| 6、等離子腔體：高純石英腔體Ø160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭上設(shè)有Ø45mm的觀察窗 | ||
| 7、真空泵：120L/min，直連式雙旋真空泵 | ||
| 8、極限真空度：50mtorr | ||
| 9、通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定） | ||
| 清洗及蝕刻 | ||
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：400mm×300mm×300mm | |
| 重量：10.2kg | ||
| 可選配件 | 1、2"-6"石英舟（盛放基片） | |
| 2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) | ||
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